Etude d'un étalon de référence dans le domaine des basses pressions différentielles

Résumé et principaux résultats

Comparaison de deux capteurs de pression différentielle: micromanomètre à ponction et capteur MKS, dans le but de se munir d'un étalon de référence pour les faibles mesures de pression différentielle.

Mesure de la pression différentielle simultanément avec le micromanomètre à ponction et le capteur MKS.
Etude de l'écart-type sur cinq mesures successives pour quatre échelons de pression :
3,5 Pa ; 4,7 Pa ; 11,7 Pa et 18,5 Pa.
.

Le MKS donne des écarts-types compris entre 0,01 et 0,03 Pa.
Le micromanomètre à ponction donne des écarts-types compris entre 0,03 et 0,06 Pa.

Commissions

Mesures et instrumentation

Thème

Méthodes et matériels de mesure

Mots-clés

Etalonnage, Mesure de pression

Auteurs

ALARY Thierry